微電子工業是一種高科技產業，它涉及到各種微型電子器件和集成電路的設計、制造和應用。微電子工業對生產環境的要求非常嚴格，因為微電子器件和集成電路的尺寸非常小，極易受到空氣中的粉塵、細菌、有機物等污染物的影響，從而影響其性能和可靠性。因此，微電子工業需要在潔凈室中進行生產，潔凈室是一種能夠控制空氣中的污染物含量和溫濕度等參數的特殊房間。

然而，建造和維護一個潔凈室是非常昂貴和復雜的，需要大量的投資、設備、人員和能源。而且，并不是所有的微電子生產工藝都需要同樣高級別的潔凈度，有些工藝只需要局部高潔凈環境，而不需要整個房間都達到高潔凈度。為了解決這個問題，潔凈棚就應運而生了。

潔凈棚是一種能夠提供局部高潔凈環境的空氣凈化設備，它可以快速、方便地建立一座簡易的無塵室，適用于電子、微電子、半導體、液晶、醫藥、生物、工程、光學、航天等行業的局部高潔凈度場合。潔凈棚具有結構靈活、性能可靠、效果顯著、成本節省等優點，是微電子工業理想的凈化設備選擇。

潔凈棚的主要組成部分有以下幾個：

一、風機過濾器單元（FFU）：FFU是潔凈棚的核心部件，它由風機和過濾器組成，可以將空氣過濾并送入潔凈棚內，形成單向流或非單向流的高潔凈空氣流場。FFU可以根據不同的需求選擇不同的過濾效率和風量，一般采用高效或超高效過濾器。

二、潔凈棚骨架：骨架是潔凈棚的支撐結構，一般采用鋁合金或不銹鋼材料制作，可以根據不同的尺寸和形狀定制。骨架上可以安裝燈具、儀表、插座等輔助設備。

三、潔凈棚圍護：圍護是潔凈棚的外部覆蓋物，一般采用防靜電軟簾或硬板材料制作，可以隔離外部污染空氣，并保持潔凈棚內的正壓。圍護上可以設置門窗等通道設施。

四、潔凈棚地板：地板是潔凈棚的底部覆蓋物，一般采用防靜電地板或架空地板材料制作，可以承受設備和人員的重量，并方便回風和敷設管線。

潔凈棚在微電子工廠的應用非常廣泛，主要有以下幾個方面：

一、在微電子工廠的前道工序中，如光刻、蝕刻、擴散、離子注入等，需要高級別的潔凈度，一般采用垂直單向流的潔凈棚，可以有效地防止粒子、分子和靜電等污染物對微電子器件和集成電路的影響。

二、在微電子工廠的后道工序中，如切割、打線、封裝等，需要中低級別的潔凈度，一般采用非單向流的潔凈棚，可以有效地防止塵埃、細菌和有機物等污染物對微電子器件和集成電路的影響。

三、在微電子工廠的檢測和維修環節中，需要局部高潔凈環境，一般采用便攜式或移動式的潔凈棚，可以有效地提供清潔和安全的操作空間，方便對微電子器件和集成電路進行檢測和維修。

潔凈棚是一種高效、經濟、靈活的空氣凈化設備，它可以根據不同的需求提供不同級別的局部高潔凈環境，為微電子工業的生產、檢測和維修提供了有力的保障。隨著微電子技術的不斷發展和創新，潔凈棚在微電子工廠的應用也將更加廣泛和深入。