某微電子工廠生產高端集成電路芯片，需要在高潔凈度的環境中進行光刻、蝕刻、擴散、離子注入等工序。由于這些工序對空氣中的粉塵、細菌、有機物等污染物非常敏感，一旦受到污染，就會影響芯片的性能和可靠性，造成巨大的經濟損失。因此，該工廠需要在生產區域建立一個潔凈室，以保證空氣中的污染物含量和溫濕度等參數達到嚴格的標準。

然而，建立一個潔凈室是非常昂貴和復雜的，需要大量的投資、設備、人員和能源。而且，并不是所有的工序都需要同樣高級別的潔凈度，有些工序只需要局部高潔凈環境，而不需要整個房間都達到高潔凈度。為了解決這個問題，該工廠決定采用潔凈棚來提供局部高潔凈環境。

潔凈棚是一種能夠提供局部高潔凈環境的空氣凈化設備，它可以快速、方便地建立一座簡易的無塵室，適用于各種局部高潔凈度場合。潔凈棚具有結構靈活、性能可靠、效果顯著、成本節省等優點，是微電子工業理想的凈化設備選擇。

該工廠根據不同的工序和需求，定制了不同類型和規格的潔凈棚，包括垂直單向流潔凈棚、水平單向流潔凈棚、非單向流潔凈棚等。這些潔凈棚可以根據現場情況進行組裝和拆卸，方便調整和移動。這些潔凈棚內部都安裝了風機過濾器單元（FFU），可以將空氣過濾并送入潔凈棚內，形成單向流或非單向流的高潔凈空氣流場。FFU可以根據不同的需求選擇不同的過濾效率和風量，一般采用高效或超高效過濾器。

在光刻工序中，該工廠采用了垂直單向流潔凈棚，可以有效地防止粒子、分子和靜電等污染物對芯片的影響。該工廠使用了美埃（中國）環境科技股份有限公司提供的ME-FFU-1型風機過濾器單元，該型號具有以下特點：

1、 風機采用無刷直流電機驅動，具有低噪音、低振動、低能耗、長壽命等優點。

2、過濾器采用超高效玻璃纖維濾紙制作，具有高過濾效率、低阻力、大風量等優點。

3、機體采用鋁合金材料制作，具有輕巧、堅固、耐腐蝕等優點。

4、機體表面采用靜電噴涂處理，具有美觀、防靜電等優點。

5、機體內部設有風速調節器，可以根據需要調節風速和風量。

在蝕刻、擴散、離子注入等工序中，該工廠采用了水平單向流潔凈棚，可以有效地防止塵埃、細菌和有機物等污染物對芯片的影響。該工廠使用了清新凈化設備（深圳）有限公司提供的QX-FFU-2型風機過濾器單元，該型號具有以下特點：

6、風機采用交流電機驅動，具有高效率、穩定性、可靠性等優點。

7、過濾器采用高效玻璃纖維濾紙制作，具有高過濾效率、低阻力、大風量等優點。

8、機體采用冷軋鋼板材料制作，具有結實、耐用、防銹等優點。

9、機體表面采用烤漆處理，具有美觀、防靜電等優點。

10、機體內部設有差壓表，可以顯示過濾器的使用狀態和更換時間。

通過使用潔凈棚，該工廠成功地提供了局部高潔凈環境，保證了芯片的生產質量和安全性。與建立一個潔凈室相比，該工廠節省了大量的投資、設備、人員和能源，降低了生產成本和運行費用。同時，該工廠也提高了生產效率和靈活性，適應了微電子技術的不斷發展和創新。該工廠的負責人表示，潔凈棚是微電子工業理想的凈化設備選擇，為微電子工業的發展做出了貢獻。